Covalent 携手牛津仪器,拓展半导体晶圆级表征分析能力
Covalent 宣布与牛津仪器达成战略合作,依托可直接交付客户使用的晶圆级拉曼与光致发光(PL)整套分析流程,扩充其半导体表征服务品类。目前该技术能力已面向客户开放,可用于整片晶圆尺度下的缺陷密度检测、应力应变扫描成像、工艺开发以及失效分析工作。
牛津仪器专业研发制造高分辨率、高灵敏度的共聚焦、快速拉曼成像显微系统,高度适用2D、3D化学表征。模块化的产品设计理念,使得我们的系统可以进行灵活地配置,不仅能满足客户当前的个性需求,还能不断扩展以适应未来的挑战。
此外,牛津仪器拉曼显微系统还可以与AFM、SEM、SNOM等重要表征技术或基于拉曼的颗粒分析技术联用,实现对同一样品进行光学分析、化学组分分析及结构分析等。
公安机关备案号31010402003473