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半导体与光伏

半导体与光伏的研发需要对材料进行各种复杂的结构化和功能化。随着对半导体器件性能、质量及可靠性的要求越来越高,全面了解器件结构的内部应力与结晶特性变得非常重要。WITec 高分辨率成像技术使您可以对样品的化学与物理特性进行全面的分析,非常适合半导体器件研发探索与失效分析。

WITec 多功能显微镜可结合不同的成像技术,大大提升对样品的分析能力,有助于全面地了解样品信息。 一套显微系统同时集成了多种表征技术,如共聚焦拉曼成像、原子力显微镜 (AFM)、近场显微镜 (SNOM)或扫描电镜 (SEM)。共聚焦拉曼成像可以提供高灵敏的化学信息,AFM 可以探测样品形貌、结构及物理性质(如样品表面硬度、粘附性等),SNOM 则可实现超衍射的光学空间分辨。所有 WITec 仪器配置随时均可升级,从而使系统满足客户测试与扩展的新要求。


应用实例

RISE Microscopy (Raman-SEM) of GaAs sample
RISE Microscopy (Raman-SEM) of a LT GaAs sample. The Raman image is overlayed on the SEM image. Raman image: Yellow: Gold substrate; Red: GaAs. 50 x 50 µm², 300 x 300 pixels = 90,000 spectra, 34 ms integration time per spectrum.
Stress map in Si
Stress map in Si around a laser-drilled hole on a Si solar cell device.
Raman-SEM image of structures in a GaN layer.
Raman-SEM image of structures in a GaN layer. Top: SEM image; Middle: confocal Raman image in x-y-direction; Bottom: 3D confocal Raman image.
AFM image of an integrated circuit.
AFM image of an integrated circuit.
Raman and AFM images of a wafer.
Raman and AFM images of the same sample area at three different positions on a wafer.

文献

Application Note Semiconducting Materials

Application Note GroupIIINitrides and 3DRaman

Application Note Solar Cells

Application Note Time Resolved PL Measurements


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